产品展示
防爆真空控制器 精馏真空控制器
产品介绍
工业真空控制器（防爆型）
设备应用：
半导体ALD/CVD前驱体真空机组控制；
四(二甲胺基)铪 TDMAHf 四(二甲胺基)锆 TDMAZr 四(二甲胺基)钛 TDMATi
二甲基硅基叔丁胺四甲基环戊二烯二甲基钛
1.合成反应：全程惰性气体保护+真空置换（防水解、氧化）
2.减压精馏：
- TDMAHf：80–85℃ / 2–5mmHg 馏分
-低温提纯、避免高温分解、除溶剂/杂质
3.真空干燥：除微量水/溶剂，防产品吸潮失效
4.真空封装/充装：不锈钢鼓泡瓶/安瓿瓶，真空+充氩密封
5.检测（TGA/蒸气压）：高真空下测热稳定性与挥发特性
医药催化剂/膦配体真空减压提取。
钯/铑/钌催化剂、膦配体（如二环己基膦类）
- 合成：真空脱溶剂、减压蒸馏提纯
- 后处理：真空干燥除水/残留有机溶剂
- 包装：真空/惰性气体封装防氧化失活
多段压力曲线：置换→粗抽→精抽→稳压→破真空，时序+联锁
- 安全联锁：超压/泄漏/过热自动停机、报警、紧急破真空
- 数据追溯：压力-时间曲线记录，半导体级品质追溯
