产品展示
工业真空控制器
产品介绍
工业真空控制器（L型号为防爆型 防爆等级BT4 带防爆证书）
设备应用：
半导体ALD/CVD前驱体真空机组控制；
四(二甲胺基)铪 TDMAHf 四(二甲胺基)锆 TDMAZr 四(二甲胺基)钛 TDMATi
二甲基硅基叔丁胺四甲基环戊二烯二甲基钛
合成反应：全程惰性气体保护+真空置换（防水解、氧化）
减压精馏：- TDMAHf：80–85℃ / 2–5mmHg 馏分
低温提纯、避免高温分解、除溶剂/杂质 真空干燥：除微量水/溶剂，防产品吸潮失效
真空封装/充装：不锈钢鼓泡瓶/安瓿瓶，真空+充氩密封
检测（TGA/蒸气压）：高真空下测热稳定性与挥发特性
医药催化剂/膦配体真空减压提取。
钯/铑/钌催化剂、膦配体（如二环己基膦类）
合成：真空脱溶剂、减压蒸馏提纯
后处理：真空干燥除水/残留有机溶剂
包装：真空/惰性气体封装防氧化失活多段压力曲线：置换→粗抽→精抽→稳压→破真空，时序+联锁安全联锁：超压/泄漏/过热自动停机、报警、紧急破真空数据追溯：压力-时间曲线记录，半导体级品质追溯
